Silikonový člun

Semicorex může přizpůsobit strukturu křemíkového plátku člunu, včetně tvaru drážkové tyče, délky zubu drážky, tvaru, úhlu naklonění a celkové nosnosti plátku, a může být vyroben podle požadavků zákazníka. Vysokoteplotní křemíkové čluny mohou účinně snížit kontaktní poškození křemíkových plátků a zlepšit výtěžnost procesu. Jeho vysokoteplotní konstrukce „bezskluzových věží“ podpírá destičky pouze na špičce nosného zubu. V porovnání sRekrystalizovánokřemík má relativně nízkou tvrdost, což snižuje mechanické poškození plátků, čímž zlepšuje rychlost průchodu mřížkou a účinně snižuje výrobní náklady. Loď z taveného křemíku se skládá z několika částí: zubů, základní desky a horní desky, které jsou srostlé dohromady. To snižuje výrobní náklady. V případě částečného poškození lze poškozené díly vyměnit bez výměny celého silikonového člunu, což výrazně snižuje náklady na vlastnictví během používání. Kromě toho má křemíkový člun velký horní limit pro nanášení polysilikonu, což může účinně snížit frekvenci zařízení PM a zlepšit výrobní kapacitu.

Semicorex Silicon Wafer Boat je inovativní, účelově navržený nosič plátků. Je speciálně vytvořen pro zpracování ve vysokoteplotní peci používané v polovodičovém průmyslu, včetně oxidačních a redukčních procesů při teplotách mezi 1200 a 1250 °C. Díky výkonnostním výhodám, které nejsou dostupné u materiálu z karbidu křemíku (SiC), poskytuje Silicon Wafer Boat výhody související s přísnými procesy, které výroba polovodičů vyžaduje. Za prvé, ultra vysoká čistota křemíkového materiálu je významná; ve skutečnosti,silikonový materiáldosahuje ultra-vysoké úrovně čistoty přes 9N (99,9999999 %), čímž zajišťuje, že zpracování waferů nekontaminují žádné kovové nebo cizí nečistoty. To je zásadní pro výrobu špičkových polovodičových zařízení, kde jsou spolehlivost výkonu a výtěžnost silně ovlivněny kontaminací. Silicon Wafer Boat poskytuje ultračisté prostředí s vysokou úrovní čistoty vhodné pro nejpokročilejší průmyslové požadavky na manipulaci s plátky vystavenými velmi vysokým teplotám pro oxidační a redukční zpracování.

Další výhodousilikonový materiálje jeho nižší tvrdost ve srovnání s materiálem SiC. Tyče nebo čluny SiC jsou známé svou tvrdostí a pevností, ale samotná vlastnost může vést k potížím při zpracování oplatek. Při vysokých teplotách se plátky budou mikro-pohybovat; budou mírně poskakovat, mírně se posouvat a deformovat hrany, když jsou uvnitř lodi. Tvrdší materiál SiC může představovat vyšší riziko tvorby částic nebo poškrábání na zadní straně plátku, protože vlastnosti plátku a člunu se za těchto podmínek zpracování při vysoké teplotě ovlivňují.

Silicon Wafer Boat zmírňuje tyto obavy tím, že využívá relativně měkký charakter křemíku ve vztahu k SiC. Snížení tvrdosti umožňuje jak menší tření, tak i mechanické namáhání při kontaktu plátků s lodí během tepelných cyklů. V důsledku toho se částice tvoří méně často a riziko poškrábání zadní strany je sníženo téměř na nulu. Kromě toho minimalizací povrchových defektů Silicon Wafer Boat přímo zlepšuje kvalitu mřížky a zvyšuje celkovou míru kvalifikace zpracovaných waferů. Pro polovodičové továrny, které chtějí zlepšit výnosy s maximální kontrolou kvality, činí tento stav výkonu křemíkový člun přitažlivou možností.

Křemík nabízí dobrou stabilitu a mechanickou pevnost při vysokých teplotách, což umožňuje lodi spolehlivě sloužit během opakovaných cyklů pece. Materiál odolává deformaci během cyklů ohřevu a chlazení, a tak si zachovává přesné umístění plátků a toleranci umístění i během rychlých cyklů pece. Tato tepelná odolnost poskytuje spolehlivé výsledky procesu, které jsou dostatečně konzistentní pro velkoobjemovou výrobu s minimálními odchylkami mezi sériemi. Silicon Wafer Boat je konstruován s vysokou rozměrovou přesností, aby bylo zajištěno konzistentní umístění a umístění plátků. Loď je vyrobena pomocí pokročilého obrábění a leštění, aby se vytvořily hladké povrchy, těsná geometrie a úzké tolerance.