Silikonový podstavec

Semicorex Silicon Pedestal Boat je ultračistý nosič plátků, který byl navržen s vysokou čistotou a přesností pro podporu vysokoteplotních polovodičových procesů, jako je oxidace, difúze a LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition). Tento nosič destiček je vyroben z 9N (99,9999999 %)vysoce čistý křemíkzajistit výjimečnou čistotu, tepelný koeficient expanzní stability a mechanickou přesnost pro podporu plátků a konzistentní řízení procesu v ultračistých prostředích.

Strukturu křemíkového člunu lze přizpůsobit tak, aby splňovala požadavky zákazníka, včetně tvaru drážkové tyče, délky zubu drážky, tvaru, úhlu naklonění a celkové nosnosti plátku. Vysokoteplotní křemíkové čluny mohou účinně snížit kontaktní poškození křemíkových plátků a zlepšit výtěžnost procesu. Jeho vysokoteplotní konstrukce „bezskluzových věží“ podpírá destičky pouze na špičce nosného zubu. Ve srovnání s karbidem křemíku je křemík relativně méně tvrdý, snižuje mechanické poškození plátků, čímž zlepšuje kvalitu mřížky a účinně snižuje výrobní náklady.

Strukturu křemíkového člunu lze přizpůsobit tak, aby splňovala požadavky zákazníka, včetně tvaru drážkové tyče, délky zubu drážky, tvaru, úhlu naklonění a celkové nosnosti plátku. Vysokoteplotní křemíkové čluny mohou účinně snížit kontaktní poškození křemíkových plátků a zlepšit výtěžnost procesu. Jeho vysokoteplotní konstrukce „bezskluzových věží“ podpírá destičky pouze na špičce nosného zubu. Ve srovnání s karbidem křemíku je křemík relativně méně tvrdý, snižuje mechanické poškození plátků, čímž zlepšuje kvalitu mřížky a účinně snižuje výrobní náklady.

Podstavec je k dispozici vmonokrystalický nebo polykrystalický křemíkodstranit rizika kontaminace spojená s nekřemíkovými materiály. Platforma sdílí stejné chemické složení jako aktivně používané wafery, což minimalizuje nežádoucí reakce nebo difúzi iontů během vysokoteplotních procesů. Homogenita materiálu podstatně snižuje fyzickou identitu částic a kovových nečistot pro konzistentně vysokou kvalitu destiček a vysoký výtěžek zařízení prostřednictvím opakovaných výrobních cyklů.

Semicorex Silicon Pedestal Boat je vybaven přesně navrženými štěrbinami pro destičky v kombinaci s vertikálními podpůrnými konstrukcemi, které zajišťují, že destičky zůstanou během ohřívacího cyklu dokonale vyrovnané a rozmístěné. Jeho rozměrová stabilita je vynikající a zajišťuje, že se podstavný člun nebude deformovat, ohýbat nebo posouvat při extrémních teplotách, což zajišťuje dobrou distribuci teploty a plynu na každém plátku. Tato rozměrová stabilita má okamžitý pozitivní vliv na rovnoměrnost tloušťky filmu během oxidace a difúze a zajišťuje nižší počet defektů a také lepší opakovatelnost procesu.

Primární výhodou silikonové lodičky jsou její optimalizované mechanické a tepelné vlastnosti. Tvrdost křemíku ve srovnání s SiC nebo křemenem pomůže snížit tvorbu mikroškrábanců a částic v důsledku vibrací plátku nebo pohybu během tepelné expanze. To platí zejména pro wafery citlivé na zadní stranu, kde je integrita povrchu waferu kritická pro výtěžnost a výkon zařízení.

Loď na podstavci má dobrou tepelnou vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti, který zajišťuje vlastnosti přenosu tepla při zachování tvaru a strukturální pevnosti s více cykly ohřevu a chlazení. Robustní konstrukce také zajišťuje dlouhou životnost s minimální deformací při extrémních podmínkách pece.

Semicorex poskytuje vlastní návrhy pro různé konfigurace zařízení, včetně průměru plátku, počtu drážek, výšky podstavce a variací geometrie. Každý produkt je kontrolován na čistotu, měřeny rozměry a testovány na tepelnou vodivost, to vše pro splnění nejvyšších standardů v procesu výroby polovodičů.

Silicon Pedestal Boat je kompatibilní s oxidačními a difúzními procesy, stejně jako s LPCVD a žíhacími aplikacemi, které vyžadují nepřekonatelnou rovnoměrnost teploty a kontrolu kontaminace. Silicon Pedestal Boat je kompatibilní s dalšími součástmi křemíkové pece, jako je injektorová trubice, vložková trubice a nosič plátků, přičemž udržuje materiál a tepelnou shodu v celém zpracovatelském systému.