Poly-Si vnější kroužky pro leptání

Obvykle se nachází kolemsprchová hlavice, Poly-Si vnější kroužek funguje jako spojovací část mezi výfukovým kroužkem a sprchovou hlavicí. Funguje kooperativně selektrostatické sklíčidlo, Si sprchová hlavice, Si zaostřovací kroužek, Si výfukový kroužek a Si stínící kroužek, což vytváří stabilní a spolehlivé procesní prostředí pro vysoce přesné leptání.

Výhody vnějších kroužků Semicorex poly-Si pro leptání

Vnější kroužky Semicorex poly-Si pro leptání jsou precizně vyrobeny z vysoce kvalitního polysilikonu a poskytují následující vynikající vlastnosti.

1. Vysoká čistota a nízký obsah částic

2. Vynikající odolnost proti vysokým teplotám a vysoká odolnost proti tepelným šokům

3. Spolehlivá odolnost proti korozi

4.Výjimečný elektrický výkon a vysoká stejnoměrnost elektrické vodivosti

Funkce vnějších kroužků Semicorex poly-Si pro leptání

1. Stabilní výkon uzemnění

Vnější kroužky Semicorex poly-Si pro leptání používané pro uzemnění a ochranu elektrod jsou schopny zabránit hromadění statické elektřiny i poškození obloukem a zajistit stabilní provoz elektrodového systému, dokonale splňující procesní požadavky na pokročilou výrobu 3D NAND.

2. Spolehlivá podpora

Vnější kroužky Semicorex poly-Si pro leptání slouží jako základní komponenty spojující výfukový kroužek a sprchovou hlavici. Poskytují spolehlivou mechanickou oporu oběma částem a udržují je stabilně umístěné na vhodném místě. Použitím vnějších kroužků Semicorex poly-Si pro leptání lze navíc zabránit plazmové erozi na leptací komoře, která tak efektivně zajistí stabilní provedení leptací operace.

3. Kompatibilita s procesem leptání

Vnější kroužky Semicorex poly-Si pro leptání se vyznačují nízkým obsahem nečistot a výjimečnou odolností proti korozi, poskytující vynikající kompatibilitu s výrobou křemíkových plátků, což výrazně snižuje defekty plátků způsobené kontaminací leptaným vedlejším produktem a významně zajišťuje vysoký výnos při výrobě polovodičů.