Poly-Si drážkové kroužky

Poly-Si štěrbinové kroužky jsou běžně instalovány v reakční komoře pokročilého zařízení na leptání polovodičů. Fungují synergicky s křemíkovými částmi, včetně křemíkuzaostřovací kroužky, křemíkové vnější kroužky a křemíksprchové hlavice. Tyto díly mohou vytvořit stabilní a optimální reakční prostředí pro proces leptání, což zajišťuje vynikající kvalituleptpřesnost a konzistentnost procesu.

Funkce štěrbinových kroužků Semicorex poly-Si

1. Drážkované kroužky Semicorex poly-Si jsou vybaveny více rovnoměrně rozmístěnými štěrbinami, které slouží jako průchody plynu, které umožňují hladký odvod procesních plynů po reakci.

2. Drážkované kroužky Semicorex poly-Si jsou schopny dosáhnout vynikající kontroly plazmatu a nabízejí spolehlivou ochranu reakční komory zařízení pro leptání polovodičů.

3. Drážkované kroužky Semicorex poly-Si mohou pomoci upravit elektrické pole a tlak v komoře, a zabránit tak nestabilitě v ovlivnění konzistence procesu leptání.

Výběr materiálu vysokého standardu

Drážkované kroužky Semicorex poly-Si jsou vyrobeny z vysoce kvalitního polykrystalického křemíku s úrovní čistoty přes 99,9999 %, což jim dodává následující vynikající vlastnosti.

1. Ultra vysoká čistota a extrémně nízký obsah nečistot.

2. Výjimečná odolnost plazmové korozi.

3. Příznivé elektrické vlastnosti s rovnoměrným odporem: RRG ≤ 5 %, nízké rozlišení. (<0,02), střední res. (1–4) a vysoké rozlišení. (70–90).

Výrobní možnosti a kontrola kvality

Semicorex, vybavený pokročilým obráběcím zařízením a zkušeným technickým týmem, přísně kontroluje každý výrobní proces a našim váženým zákazníkům nabízí vysoce kvalitní a dobře sladěné poly-Si drážkové kroužky. Kromě toho Semicorex provádí přísnou kontrolu nad měřením rozměrů, testováním měrného odporu a vizuální kontrolou hotových poly-Si štěrbinových kroužků, aby bylo zajištěno, že neobsahují vady, jako jsou třísky, škrábance, praskliny a skvrny.