SiC potažená RTP nosná deska pro epitaxní růst

Semicorex SiC Coated RTP nosná deska pro epitaxní růst je perfektním řešením pro aplikace zpracování polovodičových destiček. Se svými vysoce kvalitními uhlíkovými grafitovými susceptory a křemennými kelímky zpracovanými MOCVD na povrchu grafitu, keramiky atd. je tento produkt ideální pro manipulaci s destičkami a zpracování epitaxního růstu. Nosič potažený SiC zajišťuje vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla, což z něj činí spolehlivou volbu pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Naše nosná deska RTP potažená SiC pro epitaxní růst je navržena tak, aby vydržela nejnáročnější podmínky depozičního prostředí. Díky vysoké odolnosti vůči teplu a korozi jsou epitaxní susceptory vystaveny dokonalému depozičnímu prostředí pro epitaxní růst. Jemný krystalový povlak SiC na nosiči zajišťuje hladký povrch a vysokou odolnost proti chemickému čištění, zatímco materiál je navržen tak, aby zabránil prasklinám a delaminaci.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o naší nosné destičce RTP potažené SiC pro epitaxní růst.

Parametry nosné desky RTP potažené SiC pro epitaxní růst

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti nosné desky RTP potažené SiC pro epitaxní růst

Vysoce čistý grafit potažený SiC
Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.