SiC grafitová RTP nosná deska pro MOCVD

Nosná deska Semicorex SiC Graphite RTP pro MOCVD nabízí vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, což z ní činí dokonalé řešení pro aplikace zpracování polovodičových destiček. S vysoce kvalitním grafitem potaženým SiC je tento produkt navržen tak, aby vydržel nejdrsnější depoziční prostředí pro epitaxní růst. Vysoká tepelná vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla zajišťují spolehlivý výkon pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Naše SiC grafitová RTP nosná deska pro MOCVD pro epitaxní růst MOCVD je dokonalým řešením pro manipulaci s destičkami a zpracování epitaxního růstu. S hladkým povrchem a vysokou odolností proti chemickému čištění zajišťuje tento produkt spolehlivý výkon v náročných depozičních prostředích.
Materiál naší nosné desky SiC grafit RTP pro MOCVD je navržen tak, aby zabránil prasklinám a delaminaci, zatímco vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost zajišťují konzistentní výkon pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o naší SiC grafitové RTP nosné desce pro MOCVD.

Parametry SiC grafitové RTP nosné desky pro MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti SiC grafitové RTP nosné desky pro MOCVD

Vysoce čistý grafit potažený SiC
Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
Jemný krystal SiC potažený pro hladký povrch
Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Materiál je navržen tak, aby nedocházelo k prasklinám a delaminaci.