Jednokrystalová silikonová sprchová hlavice

Semicorex monokrystalický křemíksprchová hlavicevykazuje výjimečnou odolnost proti korozi, nízký koeficient roztažnosti a vynikající tepelnou vodivost. Pevně ​​se přizpůsobuje drsným podmínkám vysoké teploty, vysoké korozivnosti a vysokého vakua při výrobě polovodičů a vykazuje výjimečnou toleranci vůči procesním plynům, jako jsou leptací a depoziční plyny. Proto je sprchová hlavice z monokrystalu křemíku široce používána v procesech čištění polovodičů, oxidačních procesech, nanášecích procesech a leptacích procesech.

Semicorex využívá pokročilé techniky povrchové úpravy, aby zajistil, že povrch jednokrystalové silikonové sprchové hlavice má extrémně vysokou rovinnost a hladkost. Mezitím, spoléhajíc se na standardizovaný design kanálové struktury a cesty plynu, je povrch jednokrystalové silikonové sprchové hlavice rovnoměrně rozložen s mnoha póry stejného průměru (minimální průměr může dosáhnout 0,2 milimetru). Tolerance průměru pórů sprchové hlavice z monokrystalu silikonu je přesně řízena na úrovni mikrometrů a vnitřní stěna póru musí být hladká a bez otřepů, což zajišťuje přesnost distribuce a rovnoměrnost procesního plynu ze strukturálních a procesních aspektů.

Semicorex poskytuje odborné služby přizpůsobení, aby vyhovovaly různým potřebám klientů. Podle různých potřeb svých klientů dokáže přizpůsobit řešení vzhledu tak, aby odpovídala rozměrům a tvaru jejich reakčních komor. Optimalizovaný design umožňuje destičkám vytvořit plný a konzistentní kontakt s procesním plynem v průběhu reakčního procesu tím, že zaručuje, že plyn je rovnoměrně rozptýlen v reakční komoře. To v konečném důsledku zvyšuje efektivitu výroby a kvalitu produktu.