Silikonové kazetové čluny

Silikonové kazetové čluny vyrobené z nepřekonatelně vysoce čistého polykrystalického křemíku nebo monokrystalického křemíku mají následující výhody:

1. Velmi nízká kontaminace nečistotami: 

Jejich materiály sdílejí stejné chemické složení jako nesené wafery, což minimalizuje nežádoucí ionty nečistot během vysokoteplotních procesů.

2. Vynikající tepelná stabilita: 

Jsou schopny vydržet nedeformaci a udržovat přesné rozestupy pro dlouhodobé vystavení vysokým teplotám (kolem 1250 °C), čímž poskytují stabilní nosnou platformu pro destičky.

3. Vynikající mechanické vlastnosti: 

Jsou odolnější proti nárazu a jsou méně náchylné k rozbití při nakládání a vykládání než quartzové lodě.

4. Dlouhá životnost: 

Bez povrchové úpravy se jejich povrchové materiály nebudou odlupovat ani při dlouhodobém vystavení náročnému prostředí s vysokou teplotou.

Semicorex křemíkkazetové člunyjsou malé podpěrné a přenosové nosiče plátků, které jsou kompatibilní se 4palcovými a 6palcovými horizontálními vysokoteplotními pecemi. Integrovaný tvarovaný konstrukční design zabraňuje spárování a strukturálním slabostem ve spojích, čímž se výrazně snižuje riziko praskání způsobeného mechanickým nárazem, chemickou korozí nebo tepelným namáháním. Silikonové kazetové čluny jsou dobře kompatibilní s postupy vysokoteplotního ošetření, jako je oxidace, difúze, žíhání a vysokoteplotní čištění, z velké části díky špičkové technologii zpracování Semicorex.

Silikonové kazetové čluny Semicorex podporují špičkové přizpůsobené úpravy pro naše vážené zákazníky, včetně aspektů, jako je tvar drážkové tyče, délka zubu drážky, profil, úhel náklonu a celková nosnost plátků. Tento přizpůsobený design zaručuje, že wafery jsou přesně uspořádány v pevných intervalech uvnitř křemíkových kazetových člunů, účinně zmírňuje polohovou odchylku a nerovnoměrné zahřívání během zpracování, a tím zabraňuje poškození elektrického výkonu čipu nebo dokonce úplnému selhání čipu. Aby bylo zajištěno, že zákazníci obdrží vysoce kvalitní produkty, musí silikonové kazetové čluny Semicorex projít přísnými kontrolami kvality, včetně rozměrové přesnosti, materiálových vlastností, rovinnosti povrchu, celkové čistoty a zbytkového napětí.