Silikonové leptací kroužky

Silikonové leptací kroužky jsou základními součástmi plazmové leptací komory CCP/ICP leptacího zařízení a jsou obvykle umístěny kolem polovodičové destičky. Jejich primární funkcí je podporovat polovodičový plátek, udržovat rovnoměrnou distribuci plazmatu, chránit okraj plátku a tím pomáhat vytvářet optimální provozní podmínky pro proces plazmového leptání.

Výhody silikonových leptacích kroužků Semicorex

1. Výběr prémiového materiálu

Silikonové leptací kroužky Semicorex jsou vyráběny z pečlivě vybraného vysoce čistého MCZmonokrystalický křemík, který nabízí následující vynikající vlastnosti oproti běžnému CZ monokrystalickému křemíku.

Vysoká čistota: Čistota je přes 99,9999999 %, což znamená, že silikonové leptací kroužky Semicorex neobsahují téměř žádné nečistoty. Tato ultra vysoká čistota může účinně zabránit interferenci nečistotami součástí během procesu leptání, čímž je zaručena vysoká přesnost leptání.

Stabilní konstrukce: Monokrystalický křemík MCZ se vyznačuje vynikající krystalovou strukturou s nižšími defekty než konvenční monokrystalický křemík CZ. Tato stabilní krystalová struktura dává silikonovým leptacím kroužkům Semicorex zvýšenou odolnost proti korozi plazmové korozi a umožňuje jim odolávat drsným provozním podmínkám leptání.

Vynikající jednotnost odporu:Silikonové leptací kroužky Semicorexposkytují výjimečnou rovnoměrnost odporu s RRG < 5 %. Nízké rozlišení (<0,02 Ω·cm), Střední Res. (0,2–25 Ω·cm), vysoké rozlišení (>100 Ω·cm). Tato vynikající rovnoměrnost odporu může minimalizovat nerovnoměrnou distribuci plazmatu způsobenou příliš vysokým nebo nízkým odporem, což přispívá k ideálnímu elektrickému poli pro vysoce přesné plazmové leptání.

2. Přesné zpracování a přísná kontrola kvality

Semicorex se může pochlubit zkušeným technickým týmem, který může poskytnout personalizované přizpůsobení a technická hodnocení pro naše vážené zákazníky, a také zavedl systematické postupy zpracování a kontroly, aby byla zaručena kvalita produktů.

Flexibilní služby přizpůsobení: Semicorex podporuje přizpůsobení na základě zákaznických výkresů a maximální vlastní průměr silikonových leptacích kroužků může být až 470 mm.

Vysoce standardní povrchová úprava: Přesnost leštění lze přísně kontrolovat v rámci Ra < 0,1 µm a jemné broušení dosahuje povrchové úpravy Ra > 0,1 µm.

Přísná kontrola kvality: Provede se měření rozměrů, testování měrného odporu a vizuální kontrola, aby se zajistilo, že silikonové leptací kroužky neobsahují třísky, škrábance, praskliny, skvrny a jiné vady.