TaC potahový grafit je vytvořen potažením povrchu vysoce čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesem chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je sloučenina, která se skládá z tantalu a uhlíku. Má kovovou elektrickou vodivost a výjimečně vysoký bod tání, což z něj činí žáruvzdorný keramický materiál známý svou pevností, tvrdostí a odolností vůči teplu a opotřebení. Teplota tání karbidů tantalu vrcholí při asi 3880 °C v závislosti na čistotě a má jednu z nejvyšších teplot tání mezi binárními sloučeninami. To z něj činí atraktivní alternativu, když požadavky na vyšší teplotu překračují výkonnostní možnosti používané v epitaxních procesech složených polovodičů, jako jsou MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametry |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdost (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Změna rozměru grafitu |
-10~-20um (referenční hodnota) |
Tloušťka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Výše uvedené jsou typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coating Half-moon je specializovaná součástka vyrobená z grafitu potaženého karbidem tantalu (TaC), navržená pro použití v epitaxních procesech. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Chuck, špičkové vakuové sklíčidlo vybavené povlakem TaC, speciálně navržené pro polovodičové pece. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazMůžete si být jisti, že si v naší továrně zakoupíte potahovací epitaxní desku TaC. Epitaxní deska s povlakem Semicorex TaC (karbid tantalu) se může pochlubit výjimečnou tepelnou odolností, díky čemuž je ideální pro aplikace vystavené vysokým teplotám. Jeho pozoruhodná schopnost odolávat teplu zajišťuje odolnost a spolehlivost v náročných prostředích. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coated Plate je specializovaný disk navržený pro použití v epitaxních procesech SiC, vyrobený s přesností z vysoce kvalitního grafitového materiálu. Jeho povrch je pečlivě potažen karbidem tantalu (TaC), sloučeninou známou pro svou výjimečnou čistotu a pevnost. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Jig stojí jako klíčová součást v procesu výroby polovodičů, je pečlivě vyroben z grafitu a posílen pružnou vrstvou povlaku karbidu tantalu. Tento klíčový prvek vybavení ztělesňuje spojení nejmodernější vědy o materiálech a přesného inženýrství, navržené tak, aby vyhovovalo přísným provozním požadavkům a náročným standardům převládajícím ve výrobě polovodičů. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex TaC Coating Susceptor představuje vrchol v materiálovém inženýrství, pečlivě vyrobený z vysoce kvalitního grafitu a zesílený povlakem z karbidu tantalu. Tato inovativní součást, která je primárně navržena pro použití v oblasti růstu krystalů SiC a epitaxních procesů SiC, představuje maják odolnosti a výkonu v extrémních tepelných a chemických prostředích. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz