6 "držáky oplatky

Držáky destiček Semicorex 6 "jsou speciálně vytvořeny tak, aby splňovaly náročné požadavky na procesy epitaxiálního růstu SiC (silikonový karbid). Tito držitelé jsou navrženy pro použití v oblasti vysoce teploty, chemicky reaktivní prostředí, poskytují tito držitele vynikající mechanickou stabilitu, tepelnou uniformitu a spolehlivosti procesu, což z nich činí základní složku pro pokročilé sic epitaxické aplikace.

Během procesu výroby oplatky musí některé substráty oplatky dále konstruovat epitaxiální vrstvy, aby usnadnily výrobu zařízení. Mezi typické příklady patří zařízení emitující světlo LED, která vyžadují přípravu epitaxiálních vrstev GaAS na substrátech křemíku; SIC epitaxiální vrstvy se pěstují na vodivých SIC substrátech pro konstrukci zařízení, jako jsou SBD a MOSFETS pro vysoké napětí, vysoký proud a další výkonové aplikace; Epitaxiální vrstvy GAN jsou konstruovány na poloizolačních substrátech SIC, aby se další konstruovaly HEMT a další zařízení pro komunikaci a jiné radiofrekvenční aplikace. Tento proces je neoddělitelný od zařízení CVD.

V zařízení CVD nelze substrát umístit přímo na kov nebo jednoduše na základnu pro epitaxiální depozici, protože zahrnuje různé faktory, jako je směr toku plynu (horizontální, vertikální), teplota, tlak, fixace a padající kontaminanty. Proto je potřeba základna a poté je substrát umístěn na zásobníku a poté se na substrátu provádí epitaxiální depozice pomocí technologie CVD. Tato základna je aSic-potahovanýGrafitová základna (6 "držáky oplatky).

6 "držáky oplatky jsou optimalizovány pro vynikající tepelné řízení, což zajišťuje rovnoměrné rozdělení tepla přes povrch oplatky. To má za následek zlepšenou uniformitu vrstvy, sníženou hustotu defektů a zvýšení celkového výnosu během růstu sic.

Ať už provádíte výzkum a vývoj nebo v plném měřítku výroby energetických zařízení založených na SIC, naše 6 "držitele oplatky poskytují robustní výkon a spolehlivost potřebnou k maximalizaci efektivity procesu. Nabízíme také přizpůsobovací služby pro přizpůsobení designu držitele vašemu jedinečnému systémovému parametrů