Nosiče plátků MOCVD pro polovodičový průmysl

Semicorex MOCVD Wafer Carriers pro polovodičový průmysl je špičkový nosič určený pro použití v polovodičovém průmyslu. Jeho vysoce čistý materiál zajišťuje rovnoměrný tepelný profil a laminární vzor proudění plynu a poskytuje vysoce kvalitní plátky.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Naše nosiče plátků MOCVD pro polovodičový průmysl jsou vysoce čisté, vyrobené chemickou depozicí z par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace, což zajišťuje jednotnost a konzistenci produktu. Je také vysoce odolný proti korozi, s hustým povrchem a jemnými částicemi, díky čemuž je odolný vůči kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům. Jeho odolnost proti vysokoteplotní oxidaci zajišťuje stabilitu při vysokých teplotách až do 1600 °C.
Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našich nosičích destiček MOCVD pro polovodičový průmysl.

Parametry MOCVD waferových nosičů pro polovodičový průmysl

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot