V Semicorex jsme navrhli PSS Etching Carrier Tray pro LED speciálně pro drsná prostředí potřebná pro epitaxní růst a procesy manipulace s plátky. Náš ultračistý grafitový nosič je ideální pro fáze nanášení tenkých vrstev, jako je MOCVD, epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy a zpracování waferů, jako je leptání. Nosič potažený SiC má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, vynikající vlastnosti distribuce tepla a vysokou tepelnou vodivost. Náš PSS leptací nosič pro LED je nákladově efektivní a nabízí dobrou cenovou výhodu. Obstaráváme mnoho evropských a amerických trhů a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Semicorex PSS Etching Carrier Tray pro LED je navržen pro drsná prostředí potřebná pro epitaxní růst a procesy manipulace s plátky. Náš ultračistý grafitový nosič je navržen tak, aby podporoval wafery během fází nanášení tenkých vrstev, jako jsou MOCVD a epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy. Nosič potažený SiC má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, vynikající vlastnosti distribuce tepla a vysokou tepelnou vodivost. Naše produkty jsou cenově výhodné a mají dobrou cenovou výhodu. Obstaráváme mnoho evropských a amerických trhů a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o naší PSS leptacím nosiči pro LED.
Parametry nosiče PSS leptání pro LED
Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Krystalová struktura |
FCC β fáze |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdost |
Tvrdost podle Vickerse |
2500 |
Velikost zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Teplota sublimace |
℃ |
2700 |
Felexurální síla |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngův modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300℃) |
430 |
Tepelná expanze (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivost |
(W/mK) |
300 |
Vlastnosti nosiče PSS Etching Carrier Tray pro LED
- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot