Manipulační nosič PSS pro přenos plátků

Manipulační nosič PSS pro přenos destiček od společnosti Semicorex je navržen tak, aby splňoval požadavky na vysokoteplotní a drsné chemické čištění pro epitaxní růst a procesy manipulace s destičkami. Náš ultračistý grafitový nosič je ideální pro fáze nanášení tenkých vrstev, jako je MOCVD, epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy a zpracování waferů, jako je leptání. Nosič potažený SiC má vynikající vlastnosti pro rozvod tepla, vysokou tepelnou vodivost a je cenově výhodný.

Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem PSS Handling Carrier pro přenos destiček.

Parametry manipulačního nosiče PSS pro přenos waferů

Vlastnosti manipulačního nosiče PSS pro přenos plátků

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu

Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C

Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.

Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.

Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.

- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu

- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu

- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot