Silikonová leptací deska pro leptací aplikace PSS

Silikonová leptací deska Semicorex pro leptací aplikace PSS je navržena pro nejnáročnější aplikace epitaxního zařízení. Náš ultračistý grafitový nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Nosič potažený SiC má vynikající vlastnosti pro rozvod tepla, vysokou tepelnou vodivost a je cenově výhodný.

Parametry křemíkové leptací desky pro aplikace PSS leptání

Vlastnosti křemíkové leptací desky pro leptací aplikace PSS

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu

Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C

Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.

Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.

Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.

- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu

- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu

- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot