Silikonová leptací deska pro aplikace PSS leptání

Silikonová leptací deska Semicorex pro leptací aplikace PSS je vysoce kvalitní, ultračistý grafitový nosič, který je speciálně navržen pro epitaxní růst a procesy manipulace s plátky. Náš nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Silikonová leptací deska pro leptací aplikace PSS má vynikající vlastnosti distribuce tepla, vysokou tepelnou vodivost a je nákladově efektivní. Naše produkty jsou široce používány na mnoha evropských a amerických trzích a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Silikonová leptací deska Semicorex pro leptací aplikace PSS je navržena pro nejnáročnější aplikace epitaxních zařízení. Náš ultračistý grafitový nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Nosič potažený SiC má vynikající vlastnosti pro rozvod tepla, vysokou tepelnou vodivost a je cenově výhodný.

Parametry křemíkové leptací desky pro aplikace PSS leptání

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300