Nosič leptání PSS potažený SiC

Nosiče plátků používané při epixiálním růstu a zpracování plátků musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier navržený speciálně pro tyto náročné aplikace epitaxních zařízení. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Nejen pro fáze nanášení tenkých vrstev, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování waferů, jako je leptání, Semicorex dodává ultračistý SiC Coated PSS Etching Carrier používaný k podpoře waferů. Při plazmovém leptání nebo suchém leptání je toto zařízení, epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy pro MOCVD, nejprve vystaveno depozičnímu prostředí, takže má vysokou odolnost proti teplu a korozi. SiC Coated PSS Etching Carrier má také vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti pro distribuci tepla.

Leptací nosiče PSS (Patterned Sapphire Substrate) potažené SiC se používají při výrobě zařízení LED (Light Emitting Diode). PSS nosič leptání slouží jako substrát pro růst tenkého filmu nitridu galia (GaN), který tvoří strukturu LED. Nosič PSS leptání je poté odstraněn ze struktury LED pomocí procesu mokrého leptání a zanechává za sebou vzorovaný povrch, který zvyšuje účinnost extrakce světla LED.

Parametry SiC Coated PSS leptacího nosiče

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti vysoce čistého nosiče leptání PSS s povlakem SiC

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotních a korozivních pracovních prostředích.

- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.

- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.

- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.