Polovodičový nosič pro zařízení MOCVD

Můžete si být jisti, že si v naší továrně zakoupíte nosič polovodičových destiček pro zařízení MOCVD. Polovodičové nosiče plátků jsou základní součástí vybavení MOCVD. Používají se k přepravě a ochraně polovodičových destiček během výrobního procesu. Polovodičové nosiče destiček pro zařízení MOCVD jsou vyrobeny z vysoce čistých materiálů a jsou navrženy tak, aby během zpracování zachovaly integritu destiček.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

náš nosič polovodičových destiček pro zařízení MOCVD je nezbytnou součástí procesu výroby polovodičů. Je vyroben z vysoce čistého grafitu s povlakem z karbidu křemíku metodou CVD a je navržen tak, aby pojal více destiček. Nosič nabízí několik výhod, včetně zlepšeného výnosu, zvýšené produktivity, snížené kontaminace, zvýšené bezpečnosti a hospodárnosti. Pokud hledáte spolehlivý a vysoce kvalitní nosič polovodičových destiček pro zařízení MOCVD, náš produkt je dokonalým řešením.
Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem nosiči polovodičových plátků pro zařízení MOCVD.

Parametry nosiče polovodičových destiček pro zařízení MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot