Nosiče plátků z grafitového substrátu SiC pro MOCVD

Můžete si být jisti, že si v naší továrně zakoupíte nosiče plátků s grafitovým substrátem SiC pro MOCVD. Ve společnosti Semicorex jsme velkým výrobcem a dodavatelem grafitového susceptoru potaženého SiC v Číně. Náš produkt má dobrou cenovou výhodu a pokrývá mnoho evropských a amerických trhů. Snažíme se našim zákazníkům poskytovat vysoce kvalitní produkty, které splňují jejich specifické požadavky. Náš nosič SiC Coating Graphite Substrate Wafer Wafer pro MOCVD je vynikající volbou pro ty, kteří hledají vysoce výkonný nosič pro svůj proces výroby polovodičů.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Nosič plátku SiC Coating Graphite Substrate pro MOCVD hraje klíčovou roli v procesu výroby polovodičů. Náš produkt je vysoce stabilní i v extrémních prostředích, což z něj činí vynikající volbu pro výrobu vysoce kvalitních oplatek.
Vlastnosti našich nosičů plátků s povlakem SiC s grafitovým substrátem pro MOCVD jsou vynikající. Jeho hustý povrch a jemné částice zvyšují jeho odolnost proti korozi a činí jej odolným vůči kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům. Nosič zajišťuje rovnoměrný tepelný profil a zaručuje nejlepší laminární proudění plynu, čímž zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo nečistotám v difuzi do waferu.

Parametry SiC povlaku Grafitové substrátové plátkové nosiče pro MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot