Povlak SiC je tenká vrstva na susceptoru prostřednictvím procesu chemické depozice z plynné fáze (CVD). Materiál z karbidu křemíku poskytuje oproti křemíku řadu výhod, včetně 10x vyšší intenzity průrazného elektrického pole, 3x šířky zakázaného pásu, což poskytuje materiálu vysokou teplotní a chemickou odolnost, vynikající odolnost proti opotřebení a tepelnou vodivost.
Semicorex poskytuje přizpůsobené služby, pomáhá vám inovovat komponenty, které vydrží déle, zkracují doby cyklů a zvyšují výnosy.
Povlak SiC má několik jedinečných výhod
Odolnost vůči vysokým teplotám: Susceptor potažený CVD SiC může odolat vysokým teplotám až 1600 °C, aniž by podstoupil významnou tepelnou degradaci.
Chemická odolnost: Povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající odolnost vůči široké škále chemikálií, včetně kyselin, zásad a organických rozpouštědel.
Odolnost proti opotřebení: Povlak SiC poskytuje materiálu vynikající odolnost proti opotřebení, takže je vhodný pro aplikace, které zahrnují vysoké opotřebení.
Tepelná vodivost: Povlak CVD SiC poskytuje materiálu vysokou tepelnou vodivost, díky čemuž je vhodný pro použití ve vysokoteplotních aplikacích, které vyžadují účinný přenos tepla.
Vysoká pevnost a tuhost: Susceptor potažený karbidem křemíku poskytuje materiálu vysokou pevnost a tuhost, takže je vhodný pro aplikace, které vyžadují vysokou mechanickou pevnost.
SiC povlak se používá v různých aplikacích
Výroba LED: Susceptor potažený CVD SiC se používá při výrobě zpracovaných různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED, díky své vysoké tepelné vodivosti a chemické odolnosti.
Mobilní komunikace: CVD SiC potažený susceptor je klíčovou součástí HEMT pro dokončení epitaxního procesu GaN-on-SiC.
Zpracování polovodičů: Susceptor potažený CVD SiC se používá v polovodičovém průmyslu pro různé aplikace, včetně zpracování plátků a epitaxního růstu.
Grafitové komponenty potažené SiC
Vyrobeno z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), povlak je aplikován metodou CVD na konkrétní druhy grafitu s vysokou hustotou, takže může pracovat ve vysokoteplotní peci s více než 3000 °C v inertní atmosféře, 2200 °C ve vakuu .
Speciální vlastnosti a nízká hmotnost materiálu umožňují vysokou rychlost ohřevu, rovnoměrné rozložení teploty a vynikající přesnost ovládání.
Materiálové údaje Semicorex SiC Coating
Typické vlastnosti |
Jednotky |
Hodnoty |
Struktura |
|
FCC β fáze |
Orientace |
zlomek (%) |
111 přednostně |
Objemová hmotnost |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdost |
Tvrdost podle Vickerse |
2500 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Tepelná roztažnost 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngův modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300℃) |
430 |
Velikost zrna |
μm |
2~10 |
Teplota sublimace |
℃ |
2700 |
Felexurální síla |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Tepelná vodivost |
(W/mK) |
300 |
Závěr CVD SiC potažený susceptor je kompozitní materiál, který kombinuje vlastnosti susceptoru a karbidu křemíku. Tento materiál má jedinečné vlastnosti, včetně vysoké teplotní a chemické odolnosti, vynikající odolnosti proti opotřebení, vysoké tepelné vodivosti a vysoké pevnosti a tuhosti. Tyto vlastnosti z něj činí atraktivní materiál pro různé vysokoteplotní aplikace, včetně zpracování polovodičů, chemického zpracování, tepelného zpracování, výroby solárních článků a výroby LED.
Semicorex SiC Coated ICP Etching Carrier navržený speciálně pro epitaxní zařízení s vysokou odolností vůči teplu a korozi v Číně. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazDržák nosiče leptání společnosti Semicorex pro leptání PSS je navržen pro nejnáročnější aplikace epitaxního zařízení. Náš ultračistý grafitový nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Nosič potažený SiC má vynikající vlastnosti pro rozvod tepla, vysokou tepelnou vodivost a je cenově výhodný. Naše produkty jsou široce používány na mnoha evropských a amerických trzích a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex PSS Handling Carrier for Wafer Transfer je navržen pro nejnáročnější aplikace epitaxního zařízení. Náš ultračistý grafitový nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Nosič potažený SiC má vynikající vlastnosti pro rozvod tepla, vysokou tepelnou vodivost a je cenově výhodný. Naše produkty jsou široce používány na mnoha evropských a amerických trzích a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSilikonová leptací deska Semicorex pro leptací aplikace PSS je vysoce kvalitní, ultračistý grafitový nosič, který je speciálně navržen pro epitaxní růst a procesy manipulace s plátky. Náš nosič vydrží drsná prostředí, vysoké teploty a drsné chemické čištění. Silikonová leptací deska pro leptací aplikace PSS má vynikající vlastnosti distribuce tepla, vysokou tepelnou vodivost a je nákladově efektivní. Naše produkty jsou široce používány na mnoha evropských a amerických trzích a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex PSS leptací nosič pro zpracování plátků je speciálně navržen pro náročné aplikace epitaxního zařízení. Náš ultračistý grafitový nosič je ideální pro fáze nanášení tenkých vrstev, jako je MOCVD, epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy a zpracování waferů, jako je leptání. PSS leptací nosič pro zpracování oplatek má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, vynikající vlastnosti distribuce tepla a vysokou tepelnou vodivost. Naše produkty jsou cenově výhodné a mají dobrou cenovou výhodu. Obstaráváme mnoho evropských a amerických trhů a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazV Semicorex jsme navrhli PSS Etching Carrier Tray pro LED speciálně pro drsná prostředí potřebná pro epitaxní růst a procesy manipulace s plátky. Náš ultračistý grafitový nosič je ideální pro fáze nanášení tenkých vrstev, jako je MOCVD, epitaxní susceptory, palačinkové nebo satelitní platformy a zpracování waferů, jako je leptání. Nosič potažený SiC má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi, vynikající vlastnosti distribuce tepla a vysokou tepelnou vodivost. Náš PSS leptací nosič pro LED je nákladově efektivní a nabízí dobrou cenovou výhodu. Obstaráváme mnoho evropských a amerických trhů a těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz