Jednokrystalické křemíkové elektrody

Monokrystalické křemíkové elektrodyjsou obvykle instalovány v horní části leptací komory a slouží jako horní elektroda. Povrch monokrystalických křemíkových elektrod má rovnoměrně rozmístěné mikrootvory, které mohou rovnoměrně dodávat leptací plyn do reakční komory. Během procesu leptání spolupracují se spodní elektrodou na vytvoření rovnoměrného elektrického pole, což přispívá k poskytnutí ideálních provozních podmínek pro přesné leptání.

Pečlivý výběr materiálu

Semicorex si pro výrobu monokrystalických křemíkových elektrod vybírá prémiový monokrystalický křemík vypěstovaný na MCZ, který nabízí špičkový výkon a kvalitu produktu.

1. Ultra vysoká čistota

Monokrystalické křemíkové elektrody Semicorex se vyznačují ultra vysokou čistotou přes 99,9999999 %, což znamená, že obsah vnitřních kovových nečistot je extrémně nízký.

2. Výjimečná rovnoměrnost odporu

Na rozdíl od běžného monokrystalického křemíku CZ dosahuje monokrystalický křemík vypěstovaný na MCZ, který používá Semicorex, stejnoměrnost odporu pod 5 %. Jeho nízké rozlišení. je řízena pod 0,02 Ω·cm, střední rez. je mezi 0,2 a 25 Ω·cm a vysokým rozlišením. je mezi 70-90 Ω·cm (přizpůsobení je k dispozici na vyžádání).

3. Výborná struktura materiálu

Monokrystalový křemík vypěstovaný metodou MCZ nabízí stabilnější strukturu a méně defektů, díky čemuž monokrystalické křemíkové elektrody Semicorex poskytují pozoruhodnou odolnost plazmové korozi a odolávají drsným provozním podmínkám leptání.

---

Vysoká standardní přesnost zpracování

Semicorexmonokrystalický křemíkelektrody jsou vyráběny kompletním výrobním procesem od křemíkového ingotu až po hotový výrobek, včetně krájení, povrchového broušení, vrtání otvorů, mokrého leptání a povrchového leštění. Semicorex dodržuje přísnou kontrolu přesnosti v každém kroku, aby zajistil, že průměr, tloušťka, rovinnost povrchu, rozteč otvorů a apertura elektrod jsou udržovány v ideálních tolerancích.

1. Zpracování mikroděr

Mikrootvory na monokrystalických křemíkových elektrodách se vyznačují rovnoměrným rozestupem a konzistentními průměry (v rozmezí od 0,2 do 0,8 mm) s hladkými vnitřními stěnami bez otřepů. To účinně zaručuje rovnoměrný a stabilní přívod leptacího plynu, čímž je zajištěna rovnoměrnost a přesnost leptání plátků.

2. Přesnost zpracování

Přesnost zpracování monokrystalických křemíkových elektrod Semicorex je řízena v rozmezí 0,3 mm a jejich přesnost leštění může být přísně kontrolována pod 0,1 µm a jemné broušení je nižší než 1,6 µm.