Susceptory pro MOCVD reaktory

Susceptory Semicorex pro reaktory MOCVD jsou vysoce kvalitní produkty používané v polovodičovém průmyslu pro různé aplikace, jako jsou vrstvy karbidu křemíku a epitaxní polovodiče. Náš produkt je dostupný ve tvaru ozubeného kola nebo prstence a je navržen tak, aby dosahoval odolnosti proti oxidaci při vysokých teplotách, díky čemuž je stabilní při teplotách až 1600 °C.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Naše susceptory pro reaktory MOCVD jsou vyrobeny chemickou depozicí z par CVD za podmínek vysokoteplotní chlorace, což zajišťuje vysokou čistotu. Povrch produktu je hustý, s jemnými částicemi a vysokou tvrdostí, díky čemuž je odolný vůči kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
Naše susceptory pro reaktory MOCVD jsou navrženy tak, aby zajistily povlak na všech površích, zabránily odlupování a dosáhly nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu. Výrobek zaručuje rovnoměrnost tepelného profilu a zabraňuje jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot během procesu, což zajišťuje vysoce kvalitní výsledky.
V Semicorexu upřednostňujeme spokojenost zákazníků a poskytujeme cenově efektivní řešení. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem, který bude dodávat vysoce kvalitní produkty a výjimečné služby zákazníkům.

Parametry susceptorů pro reaktory MOCVD

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptoru potaženého SiC pro MOCVD

- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
- Dosáhněte nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu
- Garance rovnoměrnosti tepelného profilu
- Zabraňte jakékoli kontaminaci nebo šíření nečistot